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Pour faire la démonstration des performances réelles du DST 1000 et de la qualité de l'acide produit, un DST 1000 jamais utilisé fut installé dans une Sorbonne d'une salle blanche dédiée aux semi-conducteurs. Ceci afin de purifier de l'HF de grades "trace métal" (1 ppb). Les 15 premieres distillations d'HF produites par le DST 1000 furent analysées par ICP-MS. pour comparer de l'HF de haute pureté (10 ppt) fut achetée et aussi analysé. les résultats montrèrent que la qualité de l'ensemble des 15 lots produits par le DST 1000 est équivalente à l'acide de haute pureté du commerce. dans tous les cas, le contrôleur du distillateur fut placé sur HIGHT(taux de distillation le plus rapide). A la fin de chaque lot l'acide restant (approximativement 50 mL)dans le DST 1000, fut vidangée est mis de côté.

Les analyses de traces de métaux furent réalisées sur les lots 1, 5 et 15 d'HF produit. Plusieurs échantillons de chaque lot subirent une pré-concentration en utilisant un système maison, tout comme des échantillons d'une bouteille d'HF de haute pureté du commerce. Les  échantillons furent analysés par un ICP-MS  Agilent 7500cs. le tableau montre les limites de détection atteintes en utilisant la technique de pré-concentration, les données analytiques pour l'acide de haute pureté (10 ppt), l'acide de qualité "trace métal" (1 ppb) et les trois lots distillés. Le lot 5 distillé par le DST-1000 est très proche de la qualité haute pureté de l'HF du commerce et le lot 15 est d'une pureté équivalente. l'analyse de la qualité trace métal montre le taux contaminant éliminé par le DST-1000

Performances des DST-1000 et DST-4000

(Les essais ont été réalisés avec un DST-1000 mais les résultats valent pour le DST-4000)

Vous trouverez le taux de distillation et les données quantitatives pour HNO3 et HCl sur des DST-1000 différents dans le même laboratoire de semi-conducteurs. Ce laboratoire possède maintenant 5 DST-1000 qui travaillent en continu (anglais)

DST FAQ Questions fréquentes fr.pdf

Vous trouverez la réponses aux questions les plus fréquemment posées (en français)

Échantillons difficiles

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